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低温精密水槽

装备有程控运行功能，并能对低温领域进行高精度控制。采用贝尔切素子进行冷却，是一种低振动、省空间、应用领域广泛的精密低温恒温水槽。

马氟炉FO110C/210C/310C/410C/510C/610C/710C/810C

可进行程序运行。
● 上下键操作设定更简易，配载了操作性优良的控制器，实现温
度控制的高精度。
● 设定温度、时间、指示值都可进行数字表示。
● 采用数字设定与超温保护一体的控制器。发生异常时可进行自
诊断功能、过电流漏电保护开关等安全控制。
● 温度传感器采用寿命长的R型热电偶。
● 配备了排气口。
● 还准备了排气装置、氮气导入装置（附流量计）、定时输出、
温度输出端子等选购功能

数字式质量流量控制器 SEC-N100

HORIBA STEC致力于质量流量计的发展，为优良的制造工艺，包括半导体、光电和LED的制造提供服务，并将继续开发新的产品来满足客户的需求.

质量流量控制器 SEC-400系列

它是搭载有温控阀的基本型号。
利用小型装置的SEC-310，可以进行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且，利用SEC-623可以进行小于200SLM的大流量控制。
高精度型号：SEC-405可以进行±0.5％F.S.的流量控制。
特征
 可对应±0.5％F.S.：SEC-405(气体种类限定)
同系列产品，从0.1CCM至200SLM(N2)都可进行流量控制
实现面间距离106mm: SEC-300型式

液体微小质量流量计/控制器 LF-F/LV-F 系列

概要
搭载有世界上首次采用了冷却检测方式的流量传感器
特征
通过采用数字回路，实现了高精度・高速响应。
可以进行微升以上的微小流量控制。
可以进行低沸点液体材料、高粘度液体材料的精密流体控制。
超洁净类型

SEC-Z500X系列多种气体及多种流量范围数字式质量流量控制器

主要特性
1) 多种气体及多种流量范围, 可以自由地指定气体类型及更改满量程流量, 现场设定;
2) 超高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速响应：< 1秒 (全量程范围内，任意设置点);
4) 非常方便的现场设置操作;
5) 多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器，可以很大限度地减少库存;
6) 与现有模拟式质量流量控制器完全兼容;
7) 模拟通信与数字通信(DeviceNet)可同时进行;

高压蒸汽灭菌器SQ510C/SQ510WGC/SQ810C

SQ510C为低床型，灭菌物取放容易，非常适合中小身材人员使用。

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