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所谓质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置。流体的流量计测通常可分为体积流量和质量流量。体积流量由于受到计测时环境温度和压力的影响，如需要准确测定时，必须对温度和压力进行调整。而质量流量计在测定流体质量的时候，不容易受到环境温度和压力等外在因素的影响而能准确地进行流体测量。在必须对流量进行精确计测和控制的领域，质量流量控制器被广泛的使用，例如半导体工业、太阳能光电工业和微加工制造业等。
特征
适用于宽广范围的流量控制，其控制范围可以从0.2 SCCM到500 SLM（以N2为标准）
被广泛的使用于全球的制造业，从一般工业到高科技产业。

质量流量控制器 SEC-E400J系列

概要
作为提高生产的必要因素、制造设备的高性能化和小型化、低成本化等正日益受到关注。这些要求对气体供给系统，也就是被称为关键设备的质量流量控制器来说有很紧密的联系。而批量使用搭载了在成本表现方面优势明显的电磁阀的质量流量控制器，则可完全符合制程要求。
特征
采用金属密封垫圈
可对应腐蚀性气体
搭载异常报警功能
警报输出功能为其标准搭载

SEC-Z500X系列多种气体及多种流量范围数字式质量流量控制器

主要特性
1) 多种气体及多种流量范围, 可以自由地指定气体类型及更改满量程流量, 现场设定;
2) 超高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速响应：< 1秒 (全量程范围内，任意设置点);
4) 非常方便的现场设置操作;
5) 多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器，可以很大限度地减少库存;
6) 与现有模拟式质量流量控制器完全兼容;
7) 模拟通信与数字通信(DeviceNet)可同时进行;

采用模糊逻辑的1/16、1/8和1/4 DIN温度/过程控制器

* Dual Display
* Single Control Output
* Fuzzy Logic
* Autotune
* Dual 4-Digit LED Display and
Indicators for Output and Alarm Status
* Single Alarm Output
* Universal Power Supply
* Isolated Analog Control Output(Selected Models)
* 10 Segments of Ramp/Soak(Selected Models)

经济型1/4 DIN 6区PID温度控制器

* 6回路PID控制器
* 自动调谐或手动调谐
* 加热或冷却控制
* 每个温区都有20段斜坡/恒值曲线参数
* 密码保护
* 用户可编程
* 标配RS232数字通讯接口
* 前面板校准

数字式自动压力调节器 UR-Z700 系列

概要
UR系列产品为使用高精度压力传感器及高效，响应迅速压电陶瓷阀的数字式调节器。它们能控制收到的相关的外部控制信号。气体接触面的全金属制造，使这些单元能够在超纯的气体供应系统里进行理想的纯净的压力控制。
HORIBA STEC的质量流量控制器在其精密液体流量控制里是非常有名的，以及拥有世界最大的市场份额。
特征
可使用DeviceNet控制接口
符合官方环保要求的RoHS处理

压电阀 PV 系列

概要
PV－1000/2000系列由陶瓷晶体阀和金属主体和金属密封圈组成，再由压力传感器或流量传感器和一个比率控制器来进行压力控制或流量控制。陶瓷晶体驱动阀：陶瓷晶体阀系列根据外部单元控制信号来实现压力控制功能。压力信号来自压力传感器外部控制信号单元PCU－1000/2000，控制单元会通过节内部电路计算出最佳的控制方式并输出给陶瓷晶体阀来实现压力控制。且PCU－2100同时具有压力控制信号设定功能。

自动增压器UR-7300 系列

特征
超洁净处理：所有的金属部件（金属型号）
快速反应：反应速度小于0.5秒
这些调节器可以以任何姿态安装在任何位置，使用电子信号进行控制的它们，可以广泛的适用于各种气体供应系统。
本系列产品既有进气端控制型号(-B type)，也有出气端控制型号。
可选择相对压强型，或者绝对压强型
当压力源发生改变的时候，可以实现快速、准确的压力调整。特别是压力源突然变化的时候，这种快速准确的反应尤为重要。带有压力调整设备的话，由于提供了反应灵敏和压力可调整地特性，可以有效的控制质量流量控制器内的次级压力。此外，在一些非常小的流量范围，如果压力调整分辨率不够高，也容易产生振荡现象。高精度、高反应速度的UR系列产品为大家解决了这个问题，提供了准确和稳定的压力控制。

TMAH浓度计HE-960H-TM

概要
适用于显影液中TMAH的浓度管理HE-960TM可精确测量半导体和液晶生产中光阻显影药液制程中主要成份TMAH (四甲基氢氧化铵)的浓度。FES-510系列专用传感器具有宽泛的量程和高耐药性。4-极式炭质传感器具有显著的耐药性
特征
大量程适用
自动小数点位调整能够测量的TMAH量程从0.000至10.00%。
自动显示范围切换
从高至低浓度显示范围自动切换。当维持有效的电导率分辨率是也可使用该产监测变化
可测3种数值：TMAH浓度值、电导率计和温度
当基于相关温度特性数据补偿温度时测量TMAH浓度。本机也可用于测量其它化学药液的电导率。
耐药性4-极炭质传感器
采用了新型的使用高耐药性玻璃碳材料的FES-510系列4-极式流通型传.
4-通道传送输出
本机配有4个输出通道，所以可分别用于TMAH温度、电导率和温度。可从2个类型的输出电流中进行选择：4至20 mA DC, 或 0 至 20 mA DC.