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概要
有效管理ppm level中稀释硫酸和双氧水的氢氟酸浓度。
ppm level的氢氟酸管理，对于稀硫酸的处理是非常重要的。蚀刻工业里，双氧水和少量的氢氟酸在清楚残留聚化物能发挥有效作用。如果浓度太低，就无法有效清楚残留物. 如果太高, 就会导致过度蚀刻。HF-700 在在稀硫酸和双氧水的ppm 命令中能稳定氢氟酸浓度，为的是进行连续测试和有效进程管理。

氢氟酸浓度计CM-200A/210A

概要
为监测半导体制造工艺中氢氟酸浓度而开发出来的高精度氢氟酸浓度计。该设备通过采用电磁感应导电率计测量并实时显示氢氟酸浓度。广泛适用于各个使用氢氟酸的制造工艺，例如：清洗蚀刻后的晶片。
特征
实时显示氢氟酸浓度
可以通过导电率传感器检测氢氟酸浓度，通过<导电率>-<氟酸浓度>的检量线，自动地实时显示氟酸浓度。
实现了半导体制造工艺中低浓度范围的高精度
产品几乎覆盖了半导体制造工艺中所使用的氢氟酸溶液的全部量程(0-1/2/5/10/20wt%)。即使在0-1wt%的低浓度量程中，也实现了±2%F.S.以内的再现精度。适合于要求低浓度范围控制的存储器生产线中发挥出威力。

碳质探头电阻率计 HE-960R-GC

概要
HE-960R-GC 使用的是玻璃碳质传感器。玻璃碳质传感器不会被金属洗脱所污染，而且对于例如氢氟酸和过氧化氢等湿法清洗药液具有很好的耐药性。其对单槽清洗系统的清洗制程中的电阻率测量具有高品质的表现。HE-960R-GC为无铅焊接的环境友好型产品。
特征
出众的耐药性
因为采用100%碳作为电极材料，HE-960R-GC传感器对于氢氟酸和过氧化氢等清洗药液表现出了出众的耐药性。传感器主体的材质为PFA和PVDF。
不受金属污染
使用 HE-960R-GC 是，无需为金属污染所担心。碳表面经过特别的处理，因此不易产生微粒脱落。

88000 系列温度探头

适用于直径为229 ~
610 mm (9 ~ 24")
的旋转、平滑的金属表
面。最高表面速度每分
钟90 m (300')。最高表
面温度205°C (400°F)。

88313() & 88312 坚固耐用的插入式探头

该“T型棒结构”式探头由304不锈钢制成，确保长
期性能。可能的用途包括冷冻食品行业或需要插
入式测量的任何工业应用。标准RSC盘绕式电
缆可伸长至1.5 m (5')。传感元件外径为1⁄4"，
长度为203 mm (8")。E型温度范围从零下到
425°C (800°F)，K型可达480°C
* 指定热电偶类型: J、K、T、E、

BHF浓度计 CS-137

概要
CS-137高精度化学药液浓度计专为半导体制造时清洗制程中所使用的BHF溶液而设计。实现了过去所没有的高速响应性和小巧化，可用于监测硅氧化膜的蚀刻以及晶片表面的微粒清除作业时所使用的BHF溶液(NH4F/HF/H2O)中的各成分浓度。依据浓度计的输出而进行的反馈控制，可以确保BHF溶液的浓度保持在允许范围内，同时，还可以避免不必要的药液更换工作。

BT系列

* 工作温度高达480°C (900°F)（不包括T型热电偶）
* 有多种浸没长度、类型和安装形式可供选择
* 标准配置可快速交货
* 304不锈钢结构
* 7 mm (0.275")不锈钢软电缆标配1.5 m (60")]空管设计
* 玻璃纤维编织带绝缘层、20号线规单股热电偶线
* 绞线作为选件提供
* 接地型（热电偶与探头内部相连）

双原件热电偶

双输出双通道热电偶~

FTIR气体分析仪 FG-100A 系列

特征
■可以按照0.6秒的间隔进行数据采样。
检测时，如果选择“速度优先模式”，则可以按照1秒以下的周期，进行数据采样。
在短时间内就结束以及详细确认条件变更时的废气变化情况等场合是有效的。
※ 根据检测条件将会有所不同。
■具有无与伦比的使用便利性、小巧型设计。
它达到了行业内最小的小巧尺寸。在现场中容易进行设置・移动，这将进一步扩大它的分析用途。
■具有单检测池和双检测池这两种类型。
备有单检测池类型和双检测池类型这两个种类。双检测池类型在除害装置的IN／OUT这2点等进行检测浓度大幅不同的检测点，可以通过单按式切换方式进行连续检测。不需要更换检测池，可以进行高效的气体分析。

IPA 气体浓度计 IR-150AS

概要
HORIBA运用其气体分析技术和在清洗制程的经验开发了新型气体浓度计。多年以来，HORIBA一直将其技术运用于诸如SC-1和SC-2等化学药液浓度计、质量流量控制器和各种液体供应系统的开发与生产。气体浓度计使得HORIBA过程控制产品列阵得以完善，可根据客户要求提供完整的过程解决方案。
特征
在线安装提供实时测量。
尺寸紧凑易于整合。
可用于各种清洗设备和干法制程中的浓度监测。

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