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概要
因为半导体工业设备的快速发展，为了成功地提高装置结构中整合和细化的水平，将新原料引入到制造工艺中是必须的。因此，对于在半导体制造工艺中使用的液体原料，现在有了更多的对于液体种类和增加体积容量的要求。
HORIBASTEC公司是世界上液源传送领域的领先者，它利用各种不同的方式，包括烘焙、直接注入和混合，提供一整套液体的气化和控制系统，保证高效率和稳定的气化，并最终传送到客户指定的地点。我们的自动补液系统完善了在产线上的不间断供液，安全和可靠的液体传送提高了机台正常运行的时间和减少了操作员对于危险性污染物处理的操作风险。

液体自动填充系统 -- LU系列

概要
在提供一整套全面的不同方式的液体气化控制系统来保证气化效率和稳定的蒸汽传输到用户端这一方面，HORIBASTEC在全球处于领先地位。这些方式包括加热，直接注射和混合注射。自动供液系统可以提供不间断，安全和可靠的液体传输，用来增加运行时间和减少操作员手动操作和制程污染的危险。

直接注入 VC 系列

概要
由于是无载体类型，所以可以构筑小型气化系统
由于通过质量流量来测定发生量，所以可以不必受到温度・压力的影响进行液体材料的气化供给。

PE-D10监控单元

PE-D10是一台独立的监控单元，用于监控质量流量计。
流量报警输出功能
流量输出信号：0至5伏直流电
流量显示
电源：交流100V ~ 240V 50 / 60赫兹最大30VA
尺寸：48（宽）×96（高）×170（长）毫米
数字/模拟解决方案
RoHS认证

电源线、附属品 SU-503ED/502EA

概要
它可以把PAC系列专用电源输入的设定流量用标准电压(+5V DC)转换成任意的流量设定信号，输入到质量流量控制器。 SU-503ED：数字式　SU-502EA：模拟式

多功能数字控制器 DS-3

概要
用于质量流量控制器的显示和设置单元.同时显示实际以及设置的流量值.配有转换因数设置及阀控制功能.控制条件(满开或满闭).以数字式方式连接数字式流量控制器.

显示器 DU系列

概要
它是显示质量流量控制器・质量流量计的流量输出信号的单元装置。根据质量流量控制器・质量流量计的全标度流量值，可以直接读取控制・测量流量。

残余气体分析仪 MICROPOLE系统

概要
微型残余气体分析仪是一种目前市面上最小的质量能谱仪分析系统。通过享有专利的小型化设计将四电极质量过滤器进行排列，从而获得了完美的紧凑尺寸。与传统的质量能谱仪相比，这种排列方式可以提供相近或者更好的灵敏度，但只占传统质量能谱仪的一小部分体积。而且，与传统质量能谱仪相比，本系统可以在更高的压力环境下使用，因此，它可以减少原来需要另外配置的差压泵设备根据可以让用户直接更替传感器的转移标准，我们的传感器已经在工厂进行过预先调谐和校准处理，无需专业的技术性再校准当你使用带有3.5寸LCD显示屏的监测控制器时，不经过电脑进行数据提取也是可行的。升级到八电极系统后，它可以通过RS485或者以太网通讯进行网络控制。

等离子发光分析终点检测仪 EV-140C

概要
这是一套分析放射性发光的终点监测设备，专为以等离子技术为基础的半导体薄膜制程进行终点检定或等离子条件的监控而研制。最新的数学模型技术赋予它通过捕获微弱信号的变化进行终点检定的能力。在放射性发光中捕获微弱变化的能力显著地提高了灵敏度。对于抗干扰性的改善确保了本设备在复杂环境下持续不停的生产线上获得高稳定的运行。

OS136红外线温度传感器/变送器小型低成本非接触式

* 可提供2种温度范围：
OS136-1：-18 ~ 202°C
(0 ~ 400°F)
OS136-2：149 ~ 538°C
(300 ~ 1000°F)
* 传感器和变送器组合
* 封装在一个外径(3⁄4")、长89
mm (3.5")的不锈钢外壳中
* 光学视场：6比1
* 固定发射率为0.95
* NEMA 4 (IP66)等级的外壳

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