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概要
实时的干涉测量设备，提供蚀刻/镀膜制程中高精度的膜厚及蚀刻沟深度检测。单色光打在样品表面，由于膜厚和高度变化导致不同的光路长度时，使用干涉测量法。通过循环，系统能在监控区使用实时监测的方法计算蚀刻和镀膜的速度，在规定的膜厚和槽深来进行终点检测。基于这个相对简单的理论，系统不但非常稳定，并且可用于复杂的多层薄膜。

OS137 系列红外线温度传感器变送器紧凑型非接触式

* 可提供3种温度范围：
OS137-1：0 ~ 100°C (32 ~ 212°F)
OS137-2：-18 ~ 260°C (0 ~ 500°F)
OS137-3：-18 ~ 538°C (0 ~ 1000°F)
* 传感器和变送器组合
* 发射率可调节
* 报警设定值和输出可调节
* 封装在一个外径25 mm (1.0")、
长127 mm (5.0")的NEMA 4 (IP65)
等级不锈钢外壳中

OS540系列红外线温度计

* 带背光的LCD
* 激光光圈/光斑开/关切换
(OS542)
* 自动断电
* °C/°F可切换
* 视场；型号OS542: 12:1
型号OS543: 10:1
* 显示保持功能

实时膜厚检测仪LEM-CT-670-G50

残余气体分析仪 MICROPOLE系统

概要
微型残余气体分析仪是一种目前市面上最小的质量能谱仪分析系统。通过享有专利的小型化设计将四电极质量过滤器进行排列，从而获得了完美的紧凑尺寸。与传统的质量能谱仪相比，这种排列方式可以提供相近或者更好的灵敏度，但只占传统质量能谱仪的一小部分体积。而且，与传统质量能谱仪相比，本系统可以在更高的压力环境下使用，因此，它可以减少原来需要另外配置的差压泵设备根据可以让用户直接更替传感器的转移标准，我们的传感器已经在工厂进行过预先调谐和校准处理，无需专业的技术性再校准当你使用带有3.5寸LCD显示屏的监测控制器时，不经过电脑进行数据提取也是可行的。升级到八电极系统后，它可以通过RS485或者以太网通讯进行网络控制。

双通道电阻率计 HE-960RW-GC

概要
HE-960RW-GC可连接两个传感器并可同时进行测量。
一台变换器可同时进行高性能高精度地测量和输出2个不同位置的电阻率。

OS550A系列工业级红外线温度计

* 4种温度测量型号，测量温
度高达1370°C (2500°F)
* 精度为读数的±1%
* 电压／电流模拟信号输出
* 背光LCD
* 双显示屏设计可显示最低／
最高／平均或ΔT 温度
* 可调节的发射率
* 数据存储和记录
* 高／低电压报警输出，带红
色LED指示 (OS551A，仅高限报警)